◆特种气体∶是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体。
◆ 化学气相沉积∶ 一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。。◆刻蚀∶半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。
◆ 掺杂∶指多种物质混杂在一起，在化工、材料等领域中，掺杂通常是指为了改善某种材料或物质的性能，有目的在这种材料或基质中，掺入少量其他元素或化合物。◆离子注入∶把掺杂剂的离子引入固体中的一种材料改性方法。
◆MO源∶即高纯金属有机化合物，是半导体微结构材料的支撑材料，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。
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